1、生产氟硅酸铵原理用氟化铵溶液吸收含氟废气, 得到氟硅酸铵溶液, 经冷却结晶, 离心分离、干燥后即得成品。 其反应方程式如下:SiF 4 +2NH 4 F → ( NH 4 ) 2 SiF 6分离后的稀氟硅酸铵与氨反应, 得到浓度较低的氟化铵溶液, 氟化铵溶液可用于吸收含氟废气, 其反应方程式如下:( NH 4 ) 2 SiF 6 +4NH 3 +2H 2 O→6NH 4 F+SiO 2也可用氟化铵溶液吸收含氟废气, 得到氟硅酸铵溶液, 不进行冷却结晶而直接通入氨气, 可获得浓度较高的氟化铵溶液, 氟化铵溶液可用于制取如氟化铵、氟化氢铵、 氟化铝等多种无机氟盐。 同时可加水稀释一部分浓度较高的氟化铵溶液, 稀释后用于吸收含氟废气。
2、生产无水氟化氢原理含氟废气通过吸收制得稀氟硅酸, 提浓后与浓硫酸反应的方法。 在反应器中浓硫酸将浓氟硅酸分解, 生成氟化氢和四氟化硅。 通过蒸馏得到粗氟化氢气体, 再经预净化、冷凝和精馏制成无水氟化氢产品, 四氟化硅气体进入氟硅酸浓缩器对稀氟硅酸进行提浓。
3、生产氢氟酸原理将含氟废气制成无水氟化氢后, 用脱盐水或纯水配置而得
