1、第1步：RESET恢复出厂设置恢复出厂目的是清除之前的校准数据，让仪器恢复出厂状态，不同的测量夹具阻抗分析校准后获得的校准参数都是不一样，因此恢复出厂设置是很有必要的。
2、第2步：设置校准参数校准参数中最高校准频率需要大家注意，目前DMS系列介温谱最高校准频率只能达到30MHz，即使您的阻抗分析仪校准频率可以测量120MHz，但由于1m延迟线的影响，只能达到30MHz，因此大家要根据自己测量的要求和阻抗分析仪实际情况，设置合理的校准频率。
3、第3步：开路校准开路校准主要对从由被选电缆的长度决定的校准面到被测件连接点的间隔内可能存在的任何杂散导纳（镟搞赃呓G，B）进行补偿。将夹具上下电极分离，注意不要在上下电极中让人绝缘材料的方式分离，最好是不要在两电极之间有任何物质。上下电极开路的距离最好和测量样品的厚度保持相当，这样测量的数值接近真实值。
4、第4步：短路校准短路校准主要对从由被选电缆的长度决定的参考面到被测件连接点的间隔内可能存在的任何杂散阻抗（伊怕锱鳏R，X）进行补偿。将夹具上下电极直接短接，在短路校准中一定要确保上下电极表面无异物，如果有异物，建议打磨抛光电极表面，接触电阻的大小对校准和数据测量有直接的关系。短路接触电阻通常希望在微欧或几十mΩ比较好。
5、第5步：负载校准负载校准可以补偿用开路/短路修正无法补偿的误差。Agilent/Keysight 阻抗分析仪，负载校准必须放入100Ω标准电阻 ，WK阻抗分析仪负载校准需要放入100Ω标准电阻；100pF ,10pF 标准电容。
6、第6步：验证100Ω标准电阻大家通常也会偶尔碰到我开路、短路、负载校准都通过，但测量的数据不好，因此在测量之前我们先验证一下标准电阻100Ω是否准确，避免浪费时间，因此在正式测量前进行验证是很有必要的。
7、第7步：验证100PF标准电容大家通常也会偶尔碰到我开路、短路、负载校准都通过，100欧姆标准电阻也没有问题，但测量电容就是不好的情况，因此验证100PF很有必要。如果电容测量不好，建议还是打磨抛光电极，重新校准。
