消泡剂是开发和抗剥离喷涂工艺的必要条件。但是，抗蚀剂中的表面活性剂溶解在显影剂或抗蚀剂剥离剂浴中，必须加以控制。如果这种发泡不受控制，它不仅会导致混乱，而且会由于泵空化而导致喷射压力损失。太多的消泡剂可以通过使其通过泵吸入并通过喷嘴喷射而导致消泡剂再沉积到面板上。消泡剂太少或无效有其明显的问题。所以请遵循以下准则以正确使用消泡剂：
工具/原料
胶液消泡剂
涂层胶水消泡剂
避免手动添加
1、非常重要的是不要大量添加消泡剂以避免可能沉积到面板上。我总是建议避免手动添加。首先使用进料泵在连续碱基上间歇性添加少量消泡剂。通常，可以在控制面板上运行的计时器上启动进料泵的开关。低流量计量泵或蠕动泵可以很好地完成这项功能，因为它们可以设置为小于1升/小时。最不理想的情况是让操作员将消泡剂直接添加到来自五加仑容器的浴槽中。
避免使用含酒精的消泡剂
1、酒精基消泡剂似乎做得很好，因为它们非常快。这是通过降低浴的表面张力来实现的。然而，当醇被吸收到溶液中时，立即需要更多添加剂。通过改用浓缩的非酒精消泡剂，使用量减少了十倍。
有些泡沫很好
1、在确定你是使用太多还是太少时，我会使用这个经验法则; 一点点泡沫是一件好事。如果正确设置进纸频率，表面上总会有少量泡沫。我从油底壳的顶部射出大约半英寸到一英寸的泡沫毯。如果这是长期维护，则使用是正确的。请记住，如果更换抗蚀剂或增加负荷，则泡沫会相应变化并需要进行调整。
避免使用有机硅类
1、一些消泡剂含有大量的硅氧烷，应该避免使用。如果将这种硅树脂沉积在面板上，则很难去除，如果在外层显影剂中发生这种情况，则会导致电镀问题。
