从组吮钾熨追成上看，碳化硅应该容易被氧化成二氧化硅和碳的氧化物。
但是实验证明，这个反应不易发生。首先碳化硅很稳定，加热后，可能会发生轻微的氧化，生成的玻璃状物质保护内层 结论：一般情况下，碳化硅的氧化程度很小。
碳化硅材料是共价键性极强的化合物，在高温状态下仍可以保持高的键合强度，强度降低不明显，高温变形小，且导热性好，热膨胀系数小，热震稳定性好。
由此，碳化硅材料被认为是一种很优异的高温结构材料和耐火材料。但是，碳化硅材料是一种非氧化物材料，在高温、氧化条件下，不可避免的带来氧化问题。
虽然SiC的氧化产物，SiO2保护膜，可以阻止氧化的进一步发生但是约在800℃—1140℃SiO2膜会因相变而产生体积变化，从而使其结构变得疏松。
