1、采用传统的离子交换树脂。优点是初次投入资金少，占用的地方也不是很大。但缺点也很明显，就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，这样就会对环境有一定的破坏。原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、采用反渗透技术和离子交换设备结合作为预处理装置，缺点是初次投入的资金比采用离子交换树脂方式要高出许多，对环境一样也具有一定的污染性。优点是离子再生周期相对要长，耗费的酸碱比单茁桁仨琏纯采用离子树脂的方式要少很多，是目前比较经济与流行的一种工艺。原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用反渗透作预处理再配上电去离子装置，这是目前最先进、最环保、最经济制取超纯水工艺，不必进行设备再生处理，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境基本上没有什么污染。缺点在于在资金投入方面相对前两种方式还是很高。原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
