1、 首先，我们得到如上图所示的结果后，紧接着是需要对其分峰，图中一共有两个峰，我们先对后面的那个峰进行分峰，具体过程是：如图（1）所示，首先对能谱添加背底线，我们点击工具栏中的background，得到boundary的窗口。第一行中的High BE和Low BE是软甲根据我们的能谱自动生成的，最好不做修改。
2、 然后，接着上面的结果，type我们一般也用默认的Shirley形式，slope可能在后面根据具体情况修改先不动，最后点击accept。得到如图（2）所示的结果。然后我们开始添加峰，点击工具栏中的add peak，得到如图（3）所示的结果。然后我们在peak type中选择P型电子，然后把position改成图形中峰的位置，如图（4）所示，然后点击fix固定住。
3、 最后，其他参数先不动，点击accept，我们就能得到如图（5）所示的结果，接着我们需要对峰高和宽度进行拟合，如图过程是：修改FWHM参数和area参数，例如图（6）所示，到此分峰拟合基本完成，后续数据的处理我们会在xps数据处理，xpspeak41软件的使用（3）中具体讲解。
