1、打开总电源，打开循环水，打开所用工艺气体。按下放气按钮，打开盖子，将刻蚀样品放到托盘中央，盖严盖子。
2、按下开泵按钮，打开初级泵，开始抽真空。等真空抽到一定程度，机器上方的分子泵控制器会显示转速。此时，按下“工作”按钮，打开分子泵。
3、打开侧面板，查看内部接线情况，1~4路气MFC分别对应三氟甲烷、氧气、氩气、六氟化硫。因为3、4两个控制器损坏，只能使用1、2两个控制器来控制其他各路气的流量。
4、等分子泵转速达到700Hz，并稳定后，打开总阀和所需工艺气体阀门。调节气体流量，并稳定2分钟左右。
5、选择反应模式，有磁增强“MERIE”和普通“RIE”两个模式。设定刻蚀时间，定时开关拨至定时模式，设置好工作时间（分秒），也可以选择不计时。选择量程，同时按下按钮“启动”和按钮“ON”，观察功率计，调节功率，调节匹配电容C1和C2匹配电容使得反射功率最低。
6、工作完成后，关闭工艺气体阀门，打开阀控2，拨动开关调至最左侧（清洁），打开O2气阀，通气清洁30S、关O2流量阀和气阀。按分子泵“工作”按钮，关闭分子泵，等显示数字降为0，按下“关泵”按钮，等待2Min，待关泵上方灯亮，按下“放气”按钮，等待40S，打开盖子，取片子。然后关上盖子，按开泵抽一下真空，关闭总电源、水、气等。
