LED外延片的成长工艺

 时间:2024-10-12 06:36:09

1、长晶主要程式:

2、融化(MELtDown)  此过程是将置放于石英坩锅内的块状复晶硅加热制高于摄氏1420度的融化温度之上,此阶段中最重要的参数为坩锅的位置与热量的供应,若使用较大的功率来融化复晶硅,石英坩锅的寿命会降低,反之功率太低则融化的过程费时太久,影响整体的产能。

3、颈部成长(Neck Growth)  当硅融浆的温俣觊鄄幼度稳定之后,将方向的晶种渐渐注入液中,接着将晶种往上拉升,并使直径缩小到一定(约6mm),维持此直径并拉长10-20cm,以茇坍酮踪消除晶种内的排差(dislocation),此种零排差(dislocation-free)的控制主要为将排差局限在颈部的成长。

4、晶冠成长(Crown Growth)  长完颈部后,慢慢地降低拉速与温度,使颈部的直径逐渐增加到所需的大小。

5、尾部成长(Tail Growth)  当晶体成长到固定(需要)的长度后,晶棒的直径必须逐渐地缩小,直到与液面分开,此乃避免因热应力造成排差与滑移面现象。

6、切割:  晶棒长成以后就可以把它切割成一片一片的,也就是外延片。芯片, 圆片,是半导体元件“芯片”或“芯片”的基材,从拉伸长出的高纯度硅元素晶柱 (Crystal Ingot)上,所切下之圆形薄片称为外延片(外延片)。

7、磊晶:  砷化镓磊晶依制程的不同,可分为LPE(液相磊晶)、MOCVD(有机金属气相磊晶)及MBE(分子束磊晶)。LPE的技术较低,主要用于一芫王墙错般的发光二极体,而MBE的技术层次较高,容易成长极薄的磊晶,且纯度高,平整性好,但量产能力低,磊晶成长速度慢。MOCVD除了纯度高,平整性好外,量产能力及磊晶成长速度亦较MBE为快,所以现在大都以MOCVD来生产。

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