反渗透膜是超纯水设备中非常重要的一部分，反渗透膜在长期使用后会堆积污垢、细菌等微观物质，这时就要对超纯水设备的反渗透膜进行清洗。
超纯水设备的重要配件清洗
1、膜清洗频率与预处理措施的完善程度是紧密相关的。预处理越完善，清洗间隔越长，反之，预处理越简单，清洗频率越高。尽可能在脱盐率下降显示出来以前采取措施。正规安排的保护性维护清洗不足以保护反渗透系统。譬如，由于预处理设备运行不正常，进水条件在短时间内就会发生变化。
2、反冲洗对于防止大颗粒对某些型式反渗透膜件的堵塞是有效的。但不是所有的污染都可通过简单的反冲洗茧盯璜阝就能清除掉，还需要有周期的化学清洗。化学清洗除需增加药剂和人工费用外，还有污染问题，所以也不可过于频繁，每月不应超过1-2次，每次清洗时间约1-2h。化学清洗系统通常包括一台化学混合箱和与之相配的泵、混合器、加热器等。化学清洗常是根据运行经验来决定(可以根据每列设备压降读数与运行时间的关系曲线，或是依据产水量、淡水水质和膜的压降等)。
3、化学清洗所用的药剂和方法，需根据污染源来决定。为了保证效果，在化学清洗前要进行冲洗。冲洗前先降压，再用2-3倍正常流速的进水冲洗膜，靠流体的搅动作用将污物从膜面剥离并冲走。然后针对污染特征，选择清洗液对膜进行化学清洗。为了保护反渗透膜件，液温最好不超过35℃。
4、超纯水设备若停用5天以上，最好用甲醛冲洗后再投用。如果系统停用两周或更长一些时间，需用0.25%甲醛浸泡，以防微生物在膜中生长。化学药剂最好每周更换一次。
